Multilayer Spiegel

$n\lambda =2d\sin \theta \sqrt{1-\frac{4\overline{\delta }{d}^2}{n^2{\lambda }^2}}$(3.30)

• n Ordnung
• d Gesamtdicke einer AB-Lage
• $\overline{\delta }$ gemittelter Brechkoeffizent

Anforderungen:

• Thermische Stabilität (bei Ausleuchtung)
• geringe Rauhigkeit
• geringe Absorption

600px|thumb|zentriert|Abbildungen Att Reflexion optische Gitter im bereich bis 50eV natürliche Kristalle $n\lambda =2d\sin \theta$ ab 5KeV dazwischen Lücke die durch Multilayer/Vielschichtspiegel geschlossen werden kann 600px|thumb|zentriert|Abb. 3.23 Schichtaufbau multilayer