Multilayer Spiegel

$n\lambda =2d\sin \theta {\sqrt {1-{\frac {4{\bar {\delta }}d^{2}}{n^{2}\lambda ^{2}}}}}$(3.30)

• n Ordnung
• d Gesamtdicke einer AB-Lage
• ${\bar {\delta }}$ gemittelter Brechkoeffizent

Anforderungen:

• Thermische Stabilität (bei Ausleuchtung)
• geringe Rauhigkeit
• geringe Absorption

600px|thumb|zentriert|Abbildungen Att Reflexion optische Gitter im bereich bis 50eV natürliche Kristalle $n\lambda =2d\sin \theta$ ab 5KeV dazwischen Lücke die durch Multilayer/Vielschichtspiegel geschlossen werden kann 600px|thumb|zentriert|Abb. 3.23 Schichtaufbau multilayer